ஏறக் குறைய 3000–300,000 மெகாஹெர்ட்ஸ் அதிர்வெண் பகுதியில் இயங்குமாறு வடிவமைக்கப் படும் வெற்றிடக் குழாய் நுண்ணலைக் குழாய் (Microwave tube) எனப் படுகிறது. குறைந்த அதிர்வெண்களில் பயன்படும் வெற்றிடக் குழாய்களிலிருந்து நுண்ணலைக் குழாய் இரு வகைகளில் வேறுபடுகிறது. அவை குழாய் உண்டாக்கும் அல்லது மிகைக்கும் குறிப்பலையின் அலை நீளத்தோடு தொடர்புடைய குழாய்க் கட்டமைப்பின் அளவுகள், நுண்ணலைப் புலத்துடன் எலெக்ட்ரான்கள் வினைப் படும் நேரம் ஆகியவை. குழாய் அமைப்பு. ஒரு வெற்றிடக் குழாயில் எதிர் மின் முனையிலிருந்து கம்பி வலை வழியாக நேர் மின் முனைக்கு எலெக்ட்ரான்கள் செல்லும் பகுதி செயல்படும் பகுதி (active region) எனப் படுகிறது. குழாயின் நுண்ணலைப் பகுதியில் அலை நீளங்கள் செண்டி மீட்டரில் கணக்கிடப் படுகின்றன. நுண்ணலைக் குழாயின் ஒரு கால் பகுதி அலை நீளத்தை விரிவடையச் செய்யும் ஒத்திசைவு மின் சுற்று (resonant circuit) செலுத்தத் தொடர்களாக இருக்கும். பொதுவாக, ஒரு நுண்ணலைக் குழாய் ஒத்திசைவு சுற்றின் பகுதியாகவே உருவாக்கப் படுகிறது. செலுத்தத் தொடர்கள், சார்பிடப்பட்ட திருத்தி, சூடாக்கி, மின்னழுத்த நிற்பு அலை, தொலைவு. மின்னழுத்தம், கம்பி வலை தடுக்கும் மின் தேக்கி, அடுத்துள்ள சுற்றுக்கான இணைப்பு, நேர் மின் முனை (plate) எதிர் மின் முனை. குழாயின் மாறுநிலை நேரம். ஒரு நுண்ணலைக் குழாயின் செயல்பாடு சிறப்பாக இருக்க, குறிப்பலைப் புலத்தின் வழியே ஓர் எலெக்ட்ரான் கடந்து செல்லும் போது, உண்டாகும் மாறு நிலை நேரம் (transit time) குறிப்பலையின் அளவு நேரத்தை விடச் சிறியதாக இருக்க வேண்டும். நுண்ணலைப் பகுதிக்குக் கீழ் உள்ள அதிர்வெண்களில், செயல்படும் பகுதியில் செல்லும் எந்த ஓர் எலெக்ட்ரானின் நேரமும், குறிப்பலையின் அலைவு நேரத்தை விட தவிர்த்து விடும் அளவிற்கு (negligible) மிகச் சிறியதாக இருக்கும். நுண்ணலைகளில் 0.001–1 நானோ நொடிகள் (nanoseconds) என்னும் வீதத்தில் குறிப்பலையின் அலைவு நேரம் இருக்கும். அலைவு நேரத்தின் அரை அளவு நேரத்திற்கு மாறு நிலை நேரத்தைக் குறைத்தாலும், குறிப்பலையின் முனைமையை (polarity) எதிராக்கும் போது (reverse), மாறு நிலையில் உள்ள ஓர் எலெக்ட்ரான், தன் ஆற்றலில் சிறு நிகர மாற்றத்தை அடையும். குறிப்பலை அலைவு நேரத்தின் காற்பகுதி அளவு நேரத்தை விட, மாறு நிலை நேரம் குறைவாக எலக்ட்ரான்களில் குறிப்பிட்ட அளவு குறிப்பலைப் புலத்துடன் கணிசமான ஆற்றலைப் பரிமாறிக் கொள்ளும். நுண்ணலைக் குழாய்களின் மாறு நிலை நேரம் குறைவாக இருப்பதே சிறந்தது. எனவே, சம தளமாக இருக்குமாறு, மின் முனைகளை அருகருகே வைத்தும், மின் முனைகளுக்கு இடையே உள்ள மின்னழுத்தங்கள் மிகுதியாக இருப்பின், எலெக்ட்ரான்களின் முடுக்கத்தாலும் மாறு நிலை நேரத்தைக் குறைக்கலாம். வகைகள். பொதுவாக நுண்ணலைக் குழாய்கள் மூவகைப் படுகின்றன. அவை மேக்னட்ரான், பயண அலைக் குழாய், கிளிஸ்ட்ரான் என்பவை. காண்க. மேக்னட்ரான், பயண அலைக் குழாய், கிளிஸ்ட்ரான், வெற்றிடக் குழாய், செலுத்தத் தொடர்கள். —இரா.இந்து